Laboratorul de fizică a filmului subțire

Manager de laborator:

Dr. Katalin Balázsi

Tel: + (36-1) -392 2249

Laboratorul efectuează cercetări în mai multe domenii interdependente de film subțire și dezvoltare ceramică. Experiența cercetării lor de zeci de ani este utilizată în principal în studiul structurii straturilor policristaline, în cazul acoperirilor moderne cu nanocompozite sau straturilor noi de semiconductori. Domeniile lor de cercetare de mai sus au fost completate de dezvoltarea compozitelor din oțel austenitic dopate cu ceramică tehnică de ultimă generație, bioceramică și nanoparticule ceramice, utilizând metode de tehnologie port. Unul dintre principalele lor puncte forte atât pe plan intern, cât și pe plan internațional este microscopia electronică de transmisie, care este utilizată pentru a determina efectul structurii asupra diferitelor proprietăți ale materialului produs/cultivat. Dezvoltările metodologice bazate pe difracția electronilor ajută și susțin și subiectele de mai sus.

Ultimele lor rezultate:

Un proiect internațional de cercetare de bază SAFEMOST de trei ani a fost finalizat cu succes, în cadrul căruia a fost dezvoltat sistemul de straturi InGaN/AlGaN/AlN/GaN produs prin tehnica MOCVD. S-a determinat modificarea adâncimii fiecărei componente a tensorului de tensiune. Datorită acestui fapt, s-a atins o tensiune de prag pozitivă de 1V pentru modificarea polarizării cauzată de deformarea locală a straturilor, în acest fel se poate realiza tehnologia tranzistorului MOS-HEMT, care este oprită în stare normală.

O nouă metodă a fost dezvoltată pentru prelucrarea automată a unui număr mare de modele de difracție a electronilor („Difrație electronică scanată”). Noua metodă de evaluare computerizată poate fi utilizată pentru a genera hărți de fază, hărți de orientare și pentru a edita imagini virtuale cu câmp luminos și întunecat dintr-un număr mare (de obicei în jur de 1000) de modele de difracție. Metoda funcționează în prezent pentru structuri cubice și orientări în direcția z.

Pentru un studiu mai eficient al proprietăților dependente de concentrație ale sistemelor cu film subțire cu două componente, se folosește așa-numitul principiu „o mostră”. a fost dezvoltată o metodă de micro-combinatorică. Astfel, un singur eșantion cu o compoziție variabilă programată conține toate informațiile dependente de concentrație. Întregul set de date poate fi măsurat până la un singur proces de măsurare, care accelerează și face mai rentabilă dezvoltarea de noi straturi atomizate.

Au făcut producția de probe TEM și HREM mai eficiente prin achiziționarea unui SEM Dual Beam FEI SCIOS2. Producția de probe cu un fascicul de ioni focalizat este semnificativ mai rapidă decât metodele convenționale.

Multistraturile ceramice nitrură de siliciu/grafen au fost produse cu succes prin metoda tehnologiei pulberii. Diverse cantități de aditiv grafen (5 - 30% în greutate) în matricea Si3N4 au fost omogenizate prin măcinare atractivă și apoi s-au produs ceramice izostatice solide formate din diverse Si3N4 - Si3N4/5% în greutate Grafen - Si3N4 30% în greutate. prin presare izostatică la cald pentru noi aplicații multifuncționale emergente.

S-a pregătit cu succes un strat de hidroxiapatită nanostructurat pe un suport Si3N4. Prin adăugarea a 3% din greutate nanotuburi de carbon, suportul izolator Si3N4 a devenit conductiv, astfel metoda de pulverizare electrică ar putea fi utilizată pentru a forma stratul bioceramic.

Cele mai importante echipamente ale laboratorului: https://www.mfa.kfki.hu/kutatas/vekonylab/

Personalul laboratorului: